首页 > 微振动控制 > 振动测量&振动监测 > 测量与监测服务
半导体设备测量与监测
-
半导体设备测量与监测的概况 -
高精度和非常敏感的设备,如显微镜、检测设备、成像系统和抛光机等通常使用主动或被动隔离平台。
在某些情况下,这不足以保持足够低的振动水平。可能是局部/ 全局共振降低了隔离系统的性能,因为隔离系统的刚性不够,或者因为扰动源位于被隔离部件上。
我们的工作
➤ 用于振动测量的智能传感器
➤ 振动问题分析
➤ 被动阻尼装置
➤ 有源阻尼装置
➤ 定制设计执行器和控制器,以完美地集成到客户的机器或过程中(机械布局和接口、环境等)
-
半导体设备测量与监测的优势 +
-
半导体设备测量与监测的性能 +
-
半导体设备测量与监测的指标 +