AVISystem 主动隔振系统

主动隔振系统采用传感器实时监测振动、控制器处理信号、执行器(压电/电磁等)产生反向力主动消除振动,在低频区域和共振区具备显著隔振优势,特别适用于超低频隔振和高精度隔振场景。系统常集成于空气弹簧、膜式空气弹簧等多种隔振产品中。广泛应用于半导体量检测、混合键合、激光退火、高端精密光学仪器、电子显微镜及光学平台等领域,为精密设备提供稳定的超静底座,确保加工精度与测量可靠性。

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