定制光学平台

定制光学平台是针对特殊实验与工业场景需求而研发的全方位隔振解决方案。平台支持L型、T型、U型、E型等多种异形拼接定制，采用插销式与螺栓固定双重无缝拼接技术，突破运输与空间限制。台面采用钢质蜂窝芯夹板结构，兼具轻量化与高刚度特性。针对半导体制造、光刻、晶圆检测等对微振动极为敏感的领域，可选配主动隔振系统——以高精度传感器实时捕捉0.5Hz以上低频微振动，通过压电或电磁执行器产生反向力主动抵消振动，实现六自由度宽频隔振。台面平面度≤0.05mm/m²，M6螺纹孔阵列方便光学元件固定;台面厚度、尺寸、形状及隔振方式均可按需定制，是高端科研与精密制造的理想基础平台。