精密位移平台
精密位移平台是以压电马达、线性电机或伺服电机驱动的精密运动定位系统，由传感器、驱动器和控制器构成，是精密仪器运动控制的核心部件。典型重复定位精度可达0.1微米，分辨率低至1纳米，最大加速度达2g。广泛应用于半导体制造与测量、精密加工检测、自动化生产线及光学测量等领域
精密位移平台是以压电马达、线性电机或伺服电机驱动的精密运动定位系统，由传感器、驱动器和控制器构成，是精密仪器运动控制的核心部件。典型重复定位精度可达0.1微米，分辨率低至1纳米，最大加速度达2g。广泛应用于半导体制造与测量、精密加工检测、自动化生产线及光学测量等领域
