8月31日至9月2日,第十四届半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026)在无锡太湖国际博览中心举行,热测测试技术(苏州)有限公司(以下简称“热测测试”)携半导体设备隔振解决方案参展(展位号:B4-841),桌面式隔振平台、ADS膜片式空气弹簧、SLM囊式空气弹簧、超低噪声电源等核心展品集中亮相,与半导体设备制造商、核心零部件供应商及科研院所的专业观众,围绕精密设备的微振动控制展开深入交流。

热测测试参展CSEAC 2026(展位号:B4-841)
千余家展商汇聚无锡,共览半导体产业链创新成果
半导体设备材料及核心部件展(CSEAC)以“专业化、产业化、国际化”为宗旨,集技术交流、展览展示、产品发布、经贸洽谈、国际合作及市场拓展于一体,是我国半导体设备与核心部件及材料领域最具知名度的年度性展会之一。本届展会聚焦半导体制造设备、工艺材料与核心零部件,千余家参展企业集中展示了各自在细分方向的最新技术与产品成果,涵盖设备整机制造、精密零部件、材料传输与环境控制等多个环节。作为振动隔离领域专业的解决方案供应商,热测测试此次参展带来了面向半导体制造等精密场景的微振动控制产品与系统解决方案,并借助展会平台与产业链上下游伙伴进行了广泛交流。

第十四届半导体设备材料及核心部件展现场
聚焦微振动控制,全系列隔振产品与半导体方案集中亮相
本次展会,热测测试重点展示了覆盖“材料—器件—系统”的微振动控制产品组合。桌面式隔振平台专为实验室与质量控制等台式精密设备打造,以低频隔振方案有效阻断结构传导与地面传递的振动干扰;ADS膜片式空气弹簧实现2.0Hz超高隔振,10Hz时隔振效率不低于98%,支持电控自动调平,适配纳米级精密设备;SLM囊式空气弹簧具备3~5Hz低频隔振能力,宽承载、耐油污并支持多档调平配置,可服务于动力设备、车间计量仪器、冲压机床等工业减振场景。
同时展出的还有减振、隔音、隔热功能材料,气浮式减振器、阻尼器,以及主动减振系统与模块、被动减振系统与模块等全线产品,形成了从核心隔振器件到系统模块的完整展示阵容。针对精密测试及科研设备对洁净用电环境的需求,展台还呈现了超低噪声双极性电源与数字高压电源(HVS-150、BCS-250):产品集成数字化控制与隔离技术,支持高频调节与通道安全隔离,在紧凑体积下保障高效能,适配高精度传感器需求,适用于电子显微镜等高敏仪器。
针对光刻、量测、检测等对振动高度敏感的工艺环节,热测测试可依据设备类型、安装环境与振动指标要求,提供从被动隔振到主动隔振的分级组合方案:低频空气弹簧隔振产品用于应对厂务及楼板环境振动;主动减振系统与模块可进一步提升低频段隔振性能,满足高精度设备的严苛要求;阻尼器等配套产品则用于抑制结构振动传递,帮助精密设备在复杂厂房环境中保持稳定的运行精度。

ADS膜片式空气弹簧展品展示
从测量到治理,覆盖全流程的微振动控制服务能力
微振动控制是半导体精密制造的基础性课题。随着制程工艺不断演进、检测与量测精度持续提升,微小振动对设备成像质量、定位精度与测量稳定性的影响愈发显著,厂房环境、楼板结构乃至周边设备的运行振动,都可能成为影响工艺稳定性的因素。基于长期工程实践,热测测试构建了从现场振动测量与评估、隔振方案与图纸设计,到产品供应、安装调试及后期振动监测的全流程服务能力,可根据客户的厂房条件与设备需求提供定制化隔振工程方案,为半导体设备的高精度、高稳定运行提供可靠的振动环境支撑。除半导体行业外,公司的隔振产品与工程能力还广泛服务于汽车测试、航空航天、精密仪器、重型机械、建筑桥梁等领域。
展期交流深入,意向需求充分沉淀
展期内,热测测试展台接待了来自半导体设备制造、精密零部件加工、科研院所及工程设计等领域的多批次专业观众。交流话题集中在工艺设备的微振动治理、厂务防微振基础设计、隔振器选型与定制化配套等方向,团队针对观众提出的现场工况与技术问题逐一进行了细致解答,并收集到一批后续跟进的应用需求与合作意向。不少观众表示,希望进一步了解热测测试在半导体设备隔振领域的方案细节与工程实践。
致谢与展望
感谢各位新老客户与行业同仁莅临展台交流。此次参展既是公司产品与技术能力的一次集中呈现,也是与产业链伙伴面对面深度沟通的宝贵机会。热测测试将以“营造宁静世界”为使命,持续深耕振动隔离领域,不断完善面向半导体等精密制造行业的产品体系与解决方案能力,以可靠的微振动控制技术,助力客户设备稳定运行与工艺良率提升。如需了解更多产品与应用方案信息,欢迎访问公司官网 www.thermo-test.com,或致电 0512-67229265 咨询。
关于热测测试技术(苏州)有限公司:热测测试技术(苏州)有限公司(THERMOTEST)成立于2017年6月,坐落于苏州工业园区,是振动隔离领域专业的解决方案供应商,一家集研发、生产、销售与技术服务于一体的高新技术企业。公司产品线涵盖减振、隔音、隔热材料,气浮式减振器,阻尼器,主动与被动减振系统及模块,空气弹簧减振器,隔振桌台与光学平台等,广泛应用于半导体、汽车测试、航空航天、精密仪器、重型机械、建筑桥梁等领域,已为台积电、三星、华为等知名企业提供产品与服务。