扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）等设备的垂直分辨率已达0.01~0.1nm，而地球自身脉动（地脉动）幅值约10~100nm，环境振动会直接导致成像伪影或测量失真。 在MEMS/NEMS（微纳机电系统）制造中，亚纳米级振动即可造成加工缺陷，影响生物传感器、量子器件等产品的功能。
行业痛点深度分析
超低频振动抑制
传统被动隔振对<5Hz的低频振动抑制能力有限，而精密测量设备对0.5~2Hz频段振动尤为敏感。
我们的解决方案
采用主动隔振光学平台，通过气浮并联负刚度机构将隔振下限延伸至0.5Hz，有效抑制地面微振动干扰
隐冠半导体的压电微步电机技术可实现0.5nm以下分辨率的定位与减振双重功能，满足纳米级加工的稳定性需求
多场景适配能力
针对不同设备需求，定制化隔振方案
我们的解决方案
高分辨率显微观测：需六自由度主动隔振，消除旋转振动对成像的影响
真空环境实验：专用真空主动隔振平台解决真空腔体内振动控制难题
桌面级精密仪器：小型主动隔振系统，以紧凑设计适配实验室空间限制
