AeroFlux -X 系列 主动隔振系统

AeroFlux-X 系列是热测测试技术（苏州）有限公司面向超精密制造与度量衡级实验场景推出的电磁主动隔振平台。该系统采用 “静态空气支撑 + 动态 VCM（音圈电机）驱动” 的混合架构，通过在 XYZ 三个轴向部署高线性度 VCM 阵列，实现了真正的六自由度（6-DOF）全主动控制。系统通过高采样率的实时闭环控制，在极宽的频带内提供主动阻尼与力补偿，其核心目标是使平台面达到 VC-E 级极低振动标准，为纳米级定位、量子光学、高分辨率电子显微成像等对动态稳定性要求极为苛刻的应用提供一个近乎绝对静止的物理参考基准。