精密制造与半导体行业振动控制解决方案

精密制造与半导体行业对微振动极为敏感，需满足VC-D至VC-G级标准。方案以两级减震器为核心：被动空气弹簧减震器置于基座，隔离中高频振动；主动减震器集成加速度传感器与洛伦兹电机，实时输出反向力，精准抵消0.5～100Hz低频微扰动。多台主动减震器组成阵列，协同自适应控制，并与在线振动监测联动形成闭环，保障光刻、检测等工艺在纳米尺度稳定运行