AFM/SEM/激光干涉仪专用主动隔振 | FerroFlux FF 系列超低频减振系统

FerroFlux (FF) 系列 是一款专为极高精度科研与工业测量设计的桌面式主动隔振平台。不同于传统的空气弹簧隔振系统，FF 系列采用了创新的“钢弹簧 + 负刚度机制 $\text{(Negative Stiffness Mechanism)}$ ”的混合支撑架构，配合高性能 VCM (音圈电机) 主动激励，实现了在无需外部气源的情况下，获得极低的被动固有频率（准零刚度状态）。

该系统通过内置的高速闭环控制算法，能够实时感知并抵消来自地基的微小扰动，将环境振动衰减至亚微米/微g量级，为扫描电镜 (SEM)、原子力显微镜 (AFM)、激光干涉仪及量子芯片测量等设备提供一个极致静谧的物理基座。

维度	FerroFlux (FF) 系列	优势分析
支撑架构	负刚度 + 钢弹簧	物理层面降低固有频率，减轻控制算法压力，低频隔振效果更佳
维护成本	完全无气源 (Air-free)	无需气泵，无漏气风险，安装即用，极低维护成本
低频衰减	性能突破 $\text{(Superior)}$	在 $1\text{Hz}$ 附近提供更深、更宽的衰减陷波，抑制地基微震能力更强
响应速度	超高带宽 VCM 驱动	更短的控制延迟，对突发性冲击扰动的抑制速度更快
稳定性	智能自适应中心化控制	针对负刚度特性优化，消除长期缓慢漂移，提高定位精度

超低被动固有频率：利用负刚度结构抵消钢弹簧的物理刚度，将被动共振频率大幅降低，使主动控制环路在极低频段（ $\text{Sub-Hz}$ ）拥有更高的控制裕量。
极高低频衰减率：在 $0.5\text{Hz} \sim 10\text{Hz}$ 的关键扰动区间，其传递率 (Transmissibility) 显著低于行业同类产品，能够更有效地拦截地基低频谐波。
零迟滞快速响应：采用高线性度 VCM 执行器，无摩擦、无迟滞，带宽覆盖范围广，能够实时追踪并补偿高频瞬态扰动。
卓越的动态稳定性：通过先进的自适应反馈控制算法，有效解决了负刚度结构在静态下的漂移问题，确保平台在长时间运行中保持中心位置。

负载与规格表

型号	额定负载范围 ( $\text{kg}$ )	建议负载 ( $\text{kg}$ )	平台尺寸 ( $\text{mm}$ )	最大承重 ( $\text{kg}$ )
FF-50	$20 - 50$	$35$	$300 \times 300$	$60$
FF-100	$40 - 100$	$70$	$450 \times 450$	$120$
FF-150	$80 - 150$	$110$	$600 \times 600$	$180$
FF-200	$120 - 200$	$160$	$700 \times 700$	$240$

2. 动态性能指标

指标项目	参数值	备注
被动固有频率 $\text{(Passive } f_n\text{)}$	$\le 1.0 \text{ Hz}$	依托负刚度机制实现
主动隔振带宽 $\text{(Control Bandwidth)}$	$0.5 \text{ Hz} \sim 150 \text{ Hz}$	覆盖绝大多数地基噪声频段
低频传递率 $\text{(at } 1\text{Hz)}$	$\le -20 \text{ dB}$	性能优于同类对标产品
隔振效率 $\text{(at } 5\text{Hz)}$	$\ge 95\%$	有效消除环境机械振动
静态漂移 $\text{(Static Drift)}$	$< 5 \mu\text{m/hour}$	智能自适应中心控制
执行器线性度	$\le 0.5\%$	全行程线性 VCM 驱动

FerroFlux (FF) 系列：超低频桌面式主动隔振系统

负载与规格表

2. 动态性能指标

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