AeroStability-X 系列主动隔振器

AeroStability-X 是一款工程化的主动隔振系统，采用气动伺服与实时反馈控制技术，专为抑制 1Hz – 10Hz 的低频振动而设计。

它作为独立的减振单元，可直接安装于精密设备（如电子显微镜、光刻机、坐标测量机、激光干涉仪等）的基座下方，有效隔离来自地基的微小振动，同时抑制设备自身产生的动态干扰。

系统核心采用高速伺服阀，配合高性能加速度计与位移传感器，构成内环（压差）–中环（加速度）–外环（位移）的三环级联控制架构。

通过实时生成反向力，在 5Hz 处实现超过 20dB 的振动衰减，为被支撑设备提供接近 VC-D 级别的超低振动环境。

AeroStability-X 系列提供四种标准负载等级（AS-6 / AS-12 / AS-24 / AS-36），最大负载能力覆盖 150kg 至 2000kg，并具备智能四点自动调平功能，可自动维持设备水平姿态，无需人工干预。

核心特性包括：

• 超低频主动衰减：被动固有频率低至 1.5Hz，主动控制频段 2–50Hz，有效压制传统被动隔振无法处理的低频共振。

• 极高负载能力：单模块最高支持 2000kg 负载，且在高负载下仍保持高控制带宽与稳定性。

• 工业级执行元件：采用 Moog J814 伺服阀，响应速度快、线性度高，寿命长，适合连续工业运行。

• 三环智能控制：压差内环提升动态刚度，加速度中环扩展带宽，位移外环实现静态定位与调平。

• 全自动水平维持：内置高精度倾角传感器，自动调整四点支撑力，保证被支撑设备始终在水平状态（精度 ≤10 arcsec）。

• 快速瞬态抑制：阶跃扰动恢复时间 ≤1 秒，应对突发冲击或负载变化。

• 模块化集成：标准化结构尺寸，易于嵌入现有设备底座或工作台框架。

• 振动衰减能力：在 5Hz 处传递率 < 0.1（即衰减 > 20dB）。

• 环境振动等级：支撑面残余振动速度 RMS ≤ 6.25 μm/s（AS-24/36）或 ≤ 12.5 μm/s（AS-6/12），对应 VC-C ~ VC-D 标准。

• 控制带宽：主动控制有效覆盖 2Hz – 50Hz。

• 稳定时间：在阶跃扰动（如负载微调）后，系统在 1 秒内恢复稳定。

• 自动调平精度：角度误差 ≤ 10 角秒（arcsec），重复定位精度高。

• 工作温度范围：15°C – 30°C（建议环境温度波动 ≤ ±2°C/24h）。