桌面式主动隔振平台,钢弹簧+负刚度混合架构,无气源,适用于SEM/AFM/激光干涉仪,亚微米级隔振精度。
空气支撑+VCM电磁驱动,六自由度全主动隔振,达VC-E标准,适用于量子光学、高分辨显微等纳米级定位场景。