紧凑模块化主动隔振系统,消除低频振动噪声,适用于电子显微镜及大型研究仪器。
重载精密设备主动隔振系统,气动伺服控制,抑制 1–10Hz 低频振动,适用于电子显微镜、光刻机等。
模块式主动隔振系统,橡胶弹性体与VCM混合架构,适用于半导体量测等精密设备,保障纳米级加工测量精度。