智能电控空气弹簧,负载8–182kN,毫秒级响应,支持全参数可编程,适用于精密设备超低频隔振与纳米级水平控制。
重载精密设备主动隔振系统,气动伺服控制,抑制 1–10Hz 低频振动,适用于电子显微镜、光刻机等。
模块式主动隔振系统,橡胶弹性体与VCM混合架构,适用于半导体量测等精密设备,保障纳米级加工测量精度。
桌面式主动隔振平台,钢弹簧+负刚度混合架构,无气源,适用于SEM/AFM/激光干涉仪,亚微米级隔振精度。
空气支撑+VCM电磁驱动,六自由度全主动隔振,达VC-E标准,适用于量子光学、高分辨显微等纳米级定位场景。
一款采用低频空气弹簧减振器组成的小型仪器减振平台,多用于显微镜等高精密仪器底部。