HAPS-PAI-MD 光学隔振平台

HAPS-PAI-MD 光学隔振平台 - 热测测试技术(苏州)有限公司

HAPS-PAI-MD光学平台是专为超精密光学实验与高精度工业检测设计的高性能隔振平台。系统以三线摆式空气弹簧隔振为核心,配合机械水平高度调节阀实现自动调平,为精密仪器提供稳定可靠的超静工作底座。平台单弹簧负载提供300kg、500kg、1000kg三档可选,满足从轻型光学组件到重型精密设备的多样化承载需求

  • 三线摆空气弹簧隔振:采用三线摆式机械结构与空气弹簧的协同设计,在垂直与水平方向均提供极低固有频率(垂直1.0–1.7Hz,水平1.0–1.5Hz),有效阻断环境低频振动传递

  • 机械水平高度调节阀自动调平:集成精密机械水平高度调节阀,通过高度阀精确控制空气弹簧的充气和排气过程,使平台始终保持在设定高度值,实现自动调平与快速稳定复位。水平重复精度可达±0.5mm

  • 三档负载灵活选配:单弹簧负载提供300kg、500kg、1000kg三种规格,用户可根据设备重量灵活选择,适配不同应用场景

  • 高精度台面可选:台面可选配高导磁不锈钢(SUS430)或天然花岗岩,经精密研磨加工,平面度≤0.05mm/m²,表面亚光处理有效抑制杂散光反射

  • 独立式支撑设计:独立式圆腿支撑结构,避免整体共振,进一步提升隔振稳定性

  • 微米级层流阻尼:微米级层流阻尼技术高效消耗振动能量,即使受到瞬时扰动也能在短时间内恢复稳定


HAPS-PAI-MD光学平台在三线摆空气弹簧与机械水平高度调节阀的协同作用下,展现出卓越的隔振性能。垂直方向固有频率低至1.0–1.7Hz,水平方向1.0–1.5Hz。在5Hz振动频率下,垂直隔振效率达75%–92%,水平隔振效率达88%–94%;在10Hz频率下,垂直隔振效率达90%–95%,水平隔振效率达92%–98%。平台搭载的机械水平高度调节阀可实现高精度自动调平与快速响应,水平重复精度±0.5mm,确保台面在受到扰动后迅速回归水平状态

项目参数
隔振方式三线摆式空气弹簧隔振
固有频率(垂直)1.0–1.7Hz(与负载相关)
固有频率(水平)1.0–1.5Hz(与负载相关)
垂直隔振效率5Hz: 75%–92%;10Hz: 90%–95%
水平隔振效率5Hz: 88%–94%;10Hz: 92%–98%
单弹簧负载300kg / 500kg / 1000kg(三档可选)
水平调节方式机械水平高度调节阀
水平重复精度±0.5mm
台面平面度≤0.05mm/m²
螺纹孔规格M6
螺纹孔间距25mm × 25mm
平台高度800mm(可定制)
建议空气压力0.3–0.4MPa
台面材质高导磁不锈钢(SUS430)/ 天然花岗岩(可选)


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