VC-B 承重型钢结构基座

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VC-B 承重型钢结构基座-概述 -

产品详情：

设备机器有荷重需求或设备脚位高于700kg/in²，高架地板无法承载重量，需采用钢结构基础座进行承载机器无振动或刚性需求，但重量很重，即每平方大于1600kg，需在钢板之下作钢构补强

VC-B 承重型钢结构基座-优势 +

产品特点：
• 钢构或底部钢构上部RC

• 1000倍以下的光学显微镜3µm制程的光学检测设备及光学平板印刷设备(包括步进机steppers) 均可适用此一规范

钢制原料：

• 准确的尺寸与基座精密度
• 表面光滑
• 易于安装

VC-B 承重型钢结构基座-性能 +

适合负载：
有微振要求
 

应用行业：

应用于CMP，WET，DF，Track等区域工艺机器设备

 

VC-B 承重型钢结构基座-指标 +

技术参数：

钢板厚度	平整度	尺寸公差	烤漆厚度	最大位准	最小解析度
＞8mm	≤1.5mm/m²	≤±1mm	≥100µm	(µm inch/seo) 1000	3µm

 

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