HAPS-ADS-ICD 光学隔振平台
ADS‑ICD 是主动电控型空气弹簧隔振桌,由苏州热测(THERMOTEST)开发,采用ADS 隔膜式空气弹簧 + ICD 非接触电‑气动控制系统,传感器与控制阀集成于弹簧内部,圆形桌腿结构,专为超低频、高稳定、自动化调平设计,面向精密光学、半导体与计量检测等高敏感设备。
ADS‑ICD 是主动电控型空气弹簧隔振桌,由苏州热测(THERMOTEST)开发,采用ADS 隔膜式空气弹簧 + ICD 非接触电‑气动控制系统,传感器与控制阀集成于弹簧内部,圆形桌腿结构,专为超低频、高稳定、自动化调平设计,面向精密光学、半导体与计量检测等高敏感设备。