eroFlux系列超精密主动隔振平台 | 满足VC-E标准

AeroFlux (AF) 系列 是面向超精密制造与度量衡级实验设计的电磁主动隔振平台。系统采用“静态空气支撑 + 动态 VCM (音圈电机) 驱动”的混合架构，通过在 XYZ 三个轴向部署高线性度 VCM 阵列，实现了真正的 六自由度 (6-DOF) 全主动控制。

AF 系列旨在彻底消除环境噪声对精密设备的干扰，通过高采样率的实时闭环控制，在极宽的频带内提供主动阻尼与力补偿。其核心目标是使平台面达到 VC-E 级 极低振动标准，为纳米级定位、量子光学、高分辨率电子显微成像等对动态稳定性要求极苛刻的应用提供一个近乎绝对静止的物理参考基准。

是面向超精密制造与度量衡级实验设计的电磁主动隔振平台。系统采用“静态空气支撑 + 动态 VCM (音圈电机) 驱动”的混合架构，通过在 XYZ 三个轴向部署高线性度 VCM 阵列，实现了真正的 六自由度 (6-DOF) 全主动控制。

AF 系列旨在彻底消除环境噪声对精密设备的干扰，通过高采样率的实时闭环控制，在极宽的频带内提供主动阻尼与力补偿。其核心目标是使平台面达到 VC-E 级 极低振动标准，为纳米级定位、量子光学、高分辨率电子显微成像等对动态稳定性要求极苛刻的应用提供一个近乎绝对静止的物理参考基准。

电磁驱动，零底噪 (Zero Noise Floor)：完全消除气动伺服阀的压力脉动与机械冲击噪声，从物理底层保证了进入 VC-E 标准的可能性。
极高线性度 (Ultra-Linearity)：VCM 执行器提供完美的力-电流线性映射，消除了非线性迟滞，使高级控制算法（如 $H_\infty$ 或自适应前馈）能够达到理论上的最优性能。
全维度主动抑制 (Omni-Directional Suppression)：不仅能隔绝垂直振动，更能有效抑制水平方向的微小漂移与扭转扰动，提供全方位的静谧环境。
高可靠与低维护 (High Reliability)：非接触式磁力驱动，无机械磨损，无密封件老化风险，确保系统在长时间运行中保持一致的传递函数特性。

极宽的主动控制带宽：系统能够实时捕捉并抵消从亚赫兹到数百赫兹的扰动，确保在低频共振区无放大，在高频区快速衰减。
VC-E 级残余振动抑制：在全闭环工作模式下，平台面的 RMS 振动量严格控制在 VC-E 标准范围内，有效隔离地基传递的随机振动与谐波干扰。
高精度六自由度解耦：采用 6-DOF 动力学解耦矩阵，确保在控制 X/Y/Z 平移时，不会在 $\theta_x/\theta_y/\theta_z$ 旋转维度产生寄生运动，实现真正的独立轴向控制。
超快瞬态恢复能力：得益于 VCM 的零迟滞电磁响应，系统面对瞬时冲击（如人员走动、门开关）时，能够以毫秒级的速度完成能量耗散，使平台迅速回归稳态。
纳米级动态维持：结合高分辨率传感器融合算法，在主动隔振的同时，实现对平台绝对位置的亚纳米级动态维持。

参数维度	AF-300	AF-500	AF-1000	AF-1500	单位
额定负载范围	100 $\sim$ 300	200 $\sim$ 500	400 $\sim$ 1000	900 $\sim$ 1500	$\text{kg}$
主动控制带宽	$0.1 \sim 500$	$0.1 \sim 400$	$0.1 \sim 300$	$0.1 \sim 200$	$\text{Hz}$
隔振传递率 (@ 10Hz)	$\le -30$	$\le -25$	$\le -20$	$\le -15$	$\text{dB}$
残余振动量 (RMS)	$\le \text{VC-E}$	$\le \text{VC-E}$	$\le \text{VC-E}$	$\le \text{VC-E}$	$\text{Criterion}$
控制自由度	$\text{XYZ (6-DOF)}$	$\text{XYZ (6-DOF)}$	$\text{XYZ (6-DOF)}$	$\text{XYZ (6-DOF)}$	$\text{Axis}$
动态位置分辨率	$\le 1\text{nm}$	$\le 5\text{nm}$	$\le 10\text{nm}$	$\le 50\text{nm}$	$\text{nm}$
动态行程	$\pm 2$	$\pm 2$	$\pm 2$	$\pm 2$	$\text{mm}$
瞬态收敛时间	$< 0.5$	$< 0.8$	$< 1.2$	$< 2.0$	$\text{s}$
执行器类型	$\text{VCM}$	$\text{VCM}$	$\text{VCM}$	$\text{VCM}$	$\text{Electromagnetic}$
传感器方案	$\text{Sensor Fusion}$	$\text{Sensor Fusion}$	$\text{Sensor Fusion}$	$\text{Sensor Fusion}$	$\text{Hybrid}$
最大驱动电流	$\le 5\text{A}$	$\le 8\text{A}$	$\le 12\text{A}$	$\le 20\text{A}$	$\text{A/axis}$
典型功耗	$200$	$350$	$600$	$1000$	$\text{W}$
标准尺寸(WxDxH)	$600\times 600\times 350$	$800\times 800\times 450$	$1200\times 1200\times 550$	$1600\times 1600\times 650$	$\text{mm}$

AeroFlux -X 系列主动隔振系统