产品详情：
机器有振动与刚性需求，或是对于位移极为敏感的机器，以水泥基座来达到有效的隔振效果
机器有严苛的振动规范及刚性需求，采用高刚性RC结构达到有效隔振

工艺机器设备本身对振动与刚性求较高，采用高刚性RC结构达到有效的减振效果，R结构表面使用洁金室许可的环氧树脂进行处理，光洁度满足洁净室标准，硬度达到700kg/in²或以上

产品特点：
• 此准则为1µm制程的光学检测设备以及光学平板印刷设备的一良好设备规范标准
• RC型水泥机构

技术参数：