ElastoFlux (EF) 系列:模块式动隔振系统

ElastoFlux (EF) 系列:模块式动隔振系统 - 热测隔振
模块式主动隔振系统,橡胶弹性体与VCM混合架构,适用于半导体量测等精密设备,保障纳米级加工测量精度。

ElastoFlux (EF) 系列是一款专为工业产线、精密加工设备、半导体量测机台设计的模块式主动隔振单元。

系统采用“高性能工业橡胶弹性体 (Elastomeric Support) + 高线性 VCM 执行器”的混合动力学架构。

EF 系列打破了传统大型隔振平台的限制,采用分布式模块化设计。

用户可根据设备形状、重心分布和负载重量,灵活选择不同规格的 EF 模块进行组合安装。

橡胶弹性体提供天然的高频阻尼和支撑,VCM 模块则通过实时闭环控制,消除低频共振并压制环境扰动,将设备与地基物理隔离,确保在复杂工业环境下依然能保持纳米级的加工/测量精度。


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