微型六自由度运动平台（又称六足位移台）是基于Stewart 并联机构的超高精密六轴定位系统，由上下平台与 6 根伺服驱动支腿组成，集成无刷直流电机 / 压电驱动与高精度编码器，紧凑设计（底盘直径 100–150mm，高度 110–130mm），实现 XYZ 平移与 θX/θY/θZ 旋转的6 自由度联动，广泛用于光学对准、光纤耦合、半导体检测、显微镜定位与精密装配等微纳级场景。

• 超高定位精度，无累积误差：并联结构无串联堆叠误差，重复定位精度达 **±0.06μm**，最小位移分辨率 0.2μm，角分辨率 0.1μrad，满足纳米级对准需求。

• 紧凑高刚性，动态响应快：一体铝合金机身，并联支腿同步驱动，刚度高、移动惯量小，响应频率达 30Hz，速度 10–30mm/s，无运动卡滞，长期运行稳定。

• 多自由度灵活控姿，适配窄空间：6 自由度独立联动，可任意设定旋转中心，行程 XYZ±17mm、θ±21°，底盘直径≤150mm，高度≤130mm，兼容真空环境（10⁻⁶hPa）与洁净室。

• 型号规格：DHEX-100-50、H-811.I2、HEX150-125HL；底盘直径 100–150mm，高度 114–125mm。

• 运动行程：X±17mm、Y±16mm、Z±6.5mm；θX±10°、θY±10°、θZ±21°。

• 精度指标：重复定位精度 ±0.06μm；单向定位精度 ±0.1μm；最小步进 0.2μm；角重复精度 ±1μrad。

• 负载能力：有效负载 3–5kg；垂直最大负载 5kg，水平 3kg。

• 驱动与控制：无刷直流电机 / 压电驱动；6 轴同步控制；RS232/Ethernet 接口；支持自定义运动轨迹。

• 环境适应性：工作温度 10–50℃；湿度≤85%（无凝露）；真空兼容 10⁻⁶hPa；洁净室 ISO 7 级可用。