微型六自由度运动平台
微型六自由度运动平台(又称六足位移台)是基于Stewart 并联机构的超高精密六轴定位系统,由上下平台与 6 根伺服驱动支腿组成,集成无刷直流电机 / 压电驱动与高精度编码器,紧凑设计(底盘直径 100–150mm,高度 110–130mm),实现 XYZ 平移与 θX/θY/θZ 旋转的6 自由度联动,广泛用于光学对准、光纤耦合、半导体检测、显微镜定位与精密装配等微纳级场景。
微型六自由度运动平台(又称六足位移台)是基于Stewart 并联机构的超高精密六轴定位系统,由上下平台与 6 根伺服驱动支腿组成,集成无刷直流电机 / 压电驱动与高精度编码器,紧凑设计(底盘直径 100–150mm,高度 110–130mm),实现 XYZ 平移与 θX/θY/θZ 旋转的6 自由度联动,广泛用于光学对准、光纤耦合、半导体检测、显微镜定位与精密装配等微纳级场景。