HAPS-PAI-LC 光学隔振平台

HAPS-PAI-LC 光学隔振平台 - 热测测试技术(苏州)有限公司

HAPS-PAI-LC光学平台是专为超精密光学实验与高精度工业检测设计的高性能隔振平台。系统以三线摆式空气弹簧隔振为核心,融合激光位移传感器实时监测与主动调平技术,为精密仪器提供稳定可靠的超静工作底座。平台单弹簧负载提供300kg、500kg、1000kg三档可选,满足从轻型光学组件到重型精密设备的多样化承载需求。

  • 三线摆空气弹簧隔振:采用三线摆式机械结构与空气弹簧的协同设计,在垂直与水平方向均提供极低固有频率(垂直1.0–1.7Hz,水平1.0–1.5Hz),有效阻断环境低频振动传递

  • 激光位移传感器主动调平:内置高精度激光位移传感器,实时监测台面位移与姿态变化,配合精密气路控制系统实现主动调平与快速稳定复位,确保平台始终处于最佳工作状态

  • 三档负载灵活选配:单弹簧负载提供300kg、500kg、1000kg三种规格,用户可根据设备重量灵活选择,适配不同应用场景

  • 高精度台面可选:台面可选配高导磁不锈钢或天然花岗岩,经精密研磨加工,平面度≤0.05mm/m²,表面亚光处理有效抑制杂散光反射

  • 独立式支撑设计:独立式圆腿支撑结构,避免整体共振,进一步提升隔振稳定性

  • 层流阻尼快速恢复:微米级层流阻尼技术高效消耗振动能量,即使受到瞬时扰动也能在短时间内恢复稳定


HAPS-PAI-LC光学平台在三线摆空气弹簧与激光位移传感器主动调平技术的协同作用下,展现出卓越的隔振性能。垂直方向固有频率低至1.0–1.7Hz,水平方向1.0–1.5Hz。在5Hz振动频率下,垂直隔振效率达75%–85%,水平隔振效率达90%–94%;在10Hz频率下,垂直隔振效率达90%–95%,水平隔振效率达92%–98%。平台搭载的激光位移传感器可实现高精度实时监测与快速响应,确保台面在受到扰动后迅速回归水平状态

项目参数
隔振方式三线摆式空气弹簧隔振
固有频率(垂直)1.0–1.7Hz(与负载相关)
固有频率(水平)1.0–1.5Hz(与负载相关)
隔振效率(垂直)5Hz: 75%–85%;10Hz: 90%–95%
隔振效率(水平)5Hz: 90%–94%;10Hz: 92%–98%
单弹簧负载300kg / 500kg / 1000kg(三档可选)
台面平面度≤0.05mm/m²
螺纹孔规格M6
螺纹孔间距25mm × 25mm
平台高度800mm(可定制)
空气压力0.3–0.4MPa(建议)
台面材质高导磁不锈钢 / 天然花岗岩


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