HAPS-Platform-AeroStability-X 主动隔振平台

HAPS-Platform-AeroStability-X 主动隔振平台 - 热测测试技术(苏州)有限公司

HAPS-Platform-AeroStability-X 是一款融合了高刚度蜂窝结构与智能主动控制内核的超精密光学隔振平台。系统核心采用 AeroStability-X 气电复合执行单元——将高承载空气弹簧的静态刚度优势与极速响应的电磁音圈执行器动态补偿能力结合,通过软件定义动力学架构,实时塑造平台的阻抗特性。它彻底打破了传统被动隔振在“低频隔振”与“静态刚度”之间的物理折中,能在 0.5 Hz 至 100 Hz 全频段提供低于 -20 dB 的传递率,同时保持亚微米级的定位重复性。无论是用于极紫外干涉仪、量子纠缠实验,还是半导体晶圆检测,该系统均能为精密实验构建一个近乎绝对稳定的物理基准。


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