VC-B 承重型钢结构基座
产品详情：
设备机器有荷重需求或设备脚位高于700kg/in²，高架地板无法承载重量，需采用钢结构基础座进行承载机器无震动或刚性需求，但重量很重，即每平方大于1600kg，需在钢板之下作钢构补强产品特点：
• 钢构或底部钢构上部RC
• 1000倍以下的光学显微镜3µm制程的光学检测设备及光学平板印刷设备(包括步进机steppers) 均可适用此一规范
钢制原料：
• 准确的尺寸与基座精密度• 表面光滑
• 易于安装
适合负载：
有微振要求
有微振要求
应用行业：
应用于CMP，WET，DF，Track等区域工艺机器设备
技术参数：
| 钢板厚度 | 平整度 | 尺寸公差 | 烤漆厚度 | 最大位准 | 最小解析度 |
| ＞8mm | ≤1.5mm/m² | ≤±1mm | ≥100µm |
(µm inch/seo) 1000 |
3µm |
