HAPS-ADS-ICD 光学隔振平台

HAPS-ADS-ICD 光学隔振平台 - 热测测试技术(苏州)有限公司

ADS‑ICD 是主动电控型空气弹簧隔振桌,由苏州热测(THERMOTEST)开发,采用ADS 隔膜式空气弹簧 + ICD 非接触电‑气动控制系统,传感器与控制阀集成于弹簧内部,圆形桌腿结构,专为超低频、高稳定、自动化调平设计,面向精密光学、半导体与计量检测等高敏感设备。

系统特征:
➤ 自动适应负载的变化和重心的转移
➤ 非接触式传感器系统
➤ 可以集成到设备的控制器中
➤ 主动整合到流程中
➤ 简单的通信模式
➤ 通过互联网进行远程控制
➤ 可定制的参数


调节参数
复位精度
  •                             粗略(± 0.5 mm)

  •                             精准(± 0.1 mm)

  •                             用户定义(± 0.01-1 mm)

允许偏差(变形量)
  •                             宽(± 1.0 mm)

  •                             窄(± 0.5 mm)

  •                             用户定义(± 0.01-1.5 mm)

稳定时间
  •                             快(10 ms)

  •                             慢(125 ms)

  •                             用户定义(5-125 ms)

工作高度
  •                             中间位置(± 5 mm)

  •                             电控计调整

  •                             控制软件调整

通信方式                    Air Level Control Windows 软件                     USB 和蓝牙,无线(IEEE 802.15.4)


 ADS-1-IC-PADS-3-IC-PADS-6-IC-PADS-12-IC-PADS-24-IC-P
1 support kg 65 180 280 600 1300
4 support kg 250 750 1500 3000 6000
6 support kg 375 1125 2250 4500 9000
8 support kg 500 1500 4500 13500 27000
固有频率 垂直:2.0-2.5 Hz          水平:1.5-2.0 Hz
调节方式 电控阀自动调平
隔振效率 10 Hz 干扰频率95%以上


型号桌子尺寸
mmin
ADS-IC-181008H 1800*1000*80072*40*32
ADS-IC-201008H 2000*1000*800 80*40*32
ADS-IC-121208H 1200*1200*800 48*48*32
ADS-IC-151208H 1500*1200*800 60*48*32
ADS-IC-181208H 1800*1200*800 72*48*32
ADS-IC-201208H 2000*1200*800 80*48*32
ADS-IC-241208H 2400*1200*800 96*48*32
ADS-IC-151508H 1500*1500*800 60*60*32
ADS-IC-181508H 1800*1500*800 72*60*32
ADS-IC-201508H 2000*1500*800 80*60*32
ADS-IC-241508H 2400*1500*800 96*60*32
ADS-IC-301508H 3000*1500*800 120*60*32
ADS-IC-181808H 1800*1800*800 72*72*32
ADS-IC-241808H 2400*1800*800 96*72*32
ADS-IC-301808H 3000*1800*800 122*72*32
ADS-IC-361808H 3600*1800*800 144*72*32
ADS-IC-401808H 4000*1800*800 160*72*32
ADS-IC-302008H 3000*2000*800 120*80*32
ADS-IC-352008H 3500*2000*800 140*80*32
ADS-IC-402008H 4000*2000*800 160*80*32
ADS-IC-502008H 5000*2000*800 200*80*32
ADS-IC-602008H 6000*2000*800 240*80*32

 

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