VC-E 主动式防震基座
产品详情：
安装有测量和制造设备的地板或多或少会有振动，如果这些振动对设备造成不利影响，有效的解决方案则是使用隔振台(减振台)，以便营造活合该设备的条件。
主动隔振台使用电气控制，通过对传入振动施加反方向的力来立即消除振动。传感器不断监测振动，并基于该信息，执行器沿相反方向产生作用力，并继续产生上佳的振动隔离状态。主动式隔振台擅长于10Hz以下的低频范围内的隔振。
AVI系列主动温振合采用先进的振技术，适用于任何研究情况下，可以离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利田控制器内的电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等相位相反的压力信号来消除传振动。原振系统利用一个反馈回路来消除振系统的机械共振。可为实验室中对雪动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器源离来自地面的雪动，提供稳定的测试环境。
AVI系列主动温振合采用先进的振技术，适用于任何研究情况下，可以离6个自由度方向上的振动，包括水平和垂直方向。AVI系列平台利田控制器内的电加速度传感器来传感外界传入的振动，通过将外界的压力信息转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，然后改换能器产生一个与传入压力大小相等相位相反的压力信号来消除传振动。原振系统利用一个反馈回路来消除振系统的机械共振。可为实验室中对雪动敏感的设备如电镜，光学器件等精密仪器源离来自地面的雪动，提供稳定的测试环境。
特制复合混凝土原料：
• 专为高精准EUV特制
• 高精细度
• 超高强度混凝士(11000-15000 psi)制式
适合负载：
有微振要求
有微振要求
应用行业：
应用于PH，MET等区域工艺机器设备
产品特点：
• 在大部分的情况下此一标准不易达到。通常是一些雷射为主，行程较长、聚集点较小的设备才会要求此一振动环境.
• AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微和类似的大型研究仪器提供业界先进的主动振性能(以0.5 H开始)。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低的模块化设计，无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。
产品亮点：
• 在大部分的情况下此一标准不易达到。通常是一些雷射为主，行程较长、聚集点较小的设备才会要求此一振动环境.
• AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，可在宽频率范围内为电子显微和类似的大型研究仪器提供业界先进的主动振性能(以0.5 H开始)。AVI系列平台通过消除影响测量的破坏性低频振动噪声，帮助用户从显微镜上获得更多收益，并且平台采用了低的模块化设计，无需为大多数仪器(包括大多数SEM)安装所需的升降设备，从而简化了安装过程。
• 适用于各类大型电子显微镜AEM小SEMLATMATEM,扰仪防台，轮仪防台，电子大平防台，超快激光系统防雪台，时频系统防雪台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震。
• 主动式减震台
• 主动防振台
• AVI-200M/LP
• 各类大型SEM主动隔震台，大型TEM主动防震台，半导体设备主动减震系统，大型激光干涉仪主动隔振台，分析天平主动减震台
产品亮点：
• 六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振,>200Hz被动隔振)
• 5-20ms响应时间
• 低频隔振性能优异,安装和使用简单
应用范围：
STM，AFM，干涉仪，轮廓仪，高精度计量
应用范围：
STM，AFM，干涉仪，轮廓仪，高精度计量
技术参数：
• 隔振(5-20ms响应时间)
• 0.5Hz - 200Hz
• 系统主动检测输入振动并动态消除
• 紧凑、模块化的多功能设计
• 稳定性高，能无故障连续使用多年
• 无低频共振、无空气要求
负载能力：高达400kg
| 型号 | VC-E-200S/LP | VC-E-200M/LP | VC-E-200CL/LP |
| 系统配置 | 独立隔振装置&控制装置 | ||
| 主动隔振范围 | 0.52 Hz-200 Hz | ||
| 被动隔振范围 | 大致为200 Hz以上 | ||
| 显示屏信号 |
多路复用信号用于示波器显示器包含和不含哥真的震动水平。 LEDs指示输出阶段的过载情况。 |
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| 单元尺寸（每个） | 120×396×112.5 Hmm | 130×636×112.5 Hmm | 130×856×112.5 Hmm |
| 控制器尺寸 | 241×287×142 Hmm | ||
| 隔振单元重量 | 约8 kg | 约10 kg | 约12 kg |
| 负载能力 | 400 kg（同等/低重心） | ||
| 输入电压 | 90-125 VAC / 200-250 VAC，50-60 Hz | ||
| 功耗 | 通常9 W | ||
| 温度范围 | 5℃-40℃ | ||
| 相对湿度 | 10-90%（5-30℃）.10-60%（30-40℃） | ||
| 室内/室外使用 | 仅用于室内 | ||
负载能力：高达800kg
| 型号 | VC-E-400S/LP | VC-E-400M/LP | VC-E-400CL/LP |
| 系统配置 | 独立隔振装置&控制装置 | ||
| 主动隔振范围 | 0.52 Hz-200 Hz | ||
| 被动隔振范围 | 大致为200 Hz以上 | ||
| 显示屏信号 |
多路复用信号用于示波器显示器包含和不含哥真的震动水平。 LEDs指示输出阶段的过载情况。 |
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| 单元尺寸（每个） | 190×396×112.5 Hmm | 190×720×112.5 Hmm | 230×856×112.5 Hmm |
| 控制器尺寸 | 241×287×142 Hmm | ||
| 隔振单元重量 | 约15 kg | 约20 kg | 约24 kg |
| 负载能力 | 800 kg（同等/低重心） | ||
| 输入电压 | 90-125 VAC / 200-250 VAC，50-60 Hz | ||
| 功耗 | 通常18W | ||
| 温度范围 | 5℃-40℃ | ||
| 相对湿度 | 10-90%（5-30℃）.10-60%（30-40℃） | ||
| 室内/室外使用 | 仅用于室内 | ||
负载能力：高达1200kg
| 型号 | VC-E-600S/LP | VC-E-600M/LP | VC-E-600CL/LP |
| 系统配置 | 独立隔振装置&控制装置 | ||
| 主动隔振范围 | 0.52 Hz-200 Hz | ||
| 被动隔振范围 | 大致为200 Hz以上 | ||
| 显示屏信号 |
多路复用信号用于示波器显示器包含和不含哥真的震动水平。 LEDs指示输出阶段的过载情况。 |
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| 单元尺寸（每个） | 288×396×112.5 Hmm | 288×720×112.5 Hmm | 218×856×112.5 Hmm |
| 控制器尺寸 | 448×286×143 Hmm | ||
| 隔振单元重量 | 约23 kg | 约26 kg | 约34 kg |
| 负载能力 | 1200 kg（同等/低重心） | ||
| 输入电压 | 90-125 VAC / 200-250 VAC，50-60 Hz | ||
| 功耗 | 通常27 W | ||
| 温度范围 | 5℃-40℃ | ||
| 相对湿度 | 10-90%（5-30℃）.10-60%（30-40℃） | ||
| 室内/室外使用 | 仅用于室内 | ||
