产品详情：
机器有震动与刚性需求，或是对于位移极为敏感的机器，以水泥基座来达到有效的隔震效果
机器有严苛的振动规范及刚性需求，采用高刚性RC结构达到有效隔震
工艺机器设备本身对振动与刚性求较高，采用高刚性RC结构达到有效的减震效果，R结构表面使用洁金室许可的环氧树脂进行处理，光洁度满足洁净室标准，硬度达到700kg/in²或以上

产品特点：
• 此准则为1µm制程的光学检测设备以及光学平板印刷设备的一良好设备规范标准
• RC型水泥机构

• 高稳定度，高精确度，以确保机器本身不受任何外界干扰

• 防震及充分安全的生产环境

• 精确的生产制程使您及您的客户无后顾之忧

• 安全生产以节省更多后续维修成本

特制复合混凝土原料：

• 专为高精准EUV特制

• 高精细度

• 超高强度混凝士(11000-15000 psi)制式

适合负载：
有微振要求

应用行业：

应用于PH，MET等区域工艺机器设备

技术参数：

平整度	尺寸公差	环氧厚度	钢度	最大位准	最小解析度
≤1.5mm/m²	≤±1mm	≥3mm	≥1.0E+08N/m	(µm inch/seo) 500	1µm

VC-D 高等级水泥基座

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