半导体设备测量与监测
高精度和非常敏感的设备，如显微镜、检测设备、成像系统和抛光机等通常使用主动或被动隔离平台。
在某些情况下，这不足以保持足够低的振动水平。可能是局部/ 全局共振降低了隔离系统的性能，因为隔离系统的刚性不够，或者因为扰动源位于被隔离部件上。
我们的工作
➤ 用于振动测量的智能传感器
➤ 振动问题分析
➤ 被动阻尼装置
➤ 有源阻尼装置
➤ 定制设计执行器和控制器，以完美地集成到客户的机器或过程中（机械布局和接口、环境等）
在某些情况下，这不足以保持足够低的振动水平。可能是局部/ 全局共振降低了隔离系统的性能，因为隔离系统的刚性不够，或者因为扰动源位于被隔离部件上。
我们的工作
➤ 用于振动测量的智能传感器
➤ 振动问题分析
➤ 被动阻尼装置
➤ 有源阻尼装置
➤ 定制设计执行器和控制器，以完美地集成到客户的机器或过程中（机械布局和接口、环境等）
我们的优势
➤ 快速、简单的振动测量
➤ 增加结构阻尼
➤ 缩短沉淀时间
➤ 降低共振频率下的动态放大率
➤ 快速、简单的振动测量
➤ 增加结构阻尼
➤ 缩短沉淀时间
➤ 降低共振频率下的动态放大率
应用案例
半导体检查机性能测量
Micromega Recovib.Feel® USB 振动记录仪和操作人员智能手机由于使用方便，在无尘室等特殊环境中可以起到很大的作用。
事实上，半导体行业的检测机器在被要求以更快的速度提高生产率的同时，对精度的要求也越来越严格。
考虑到这一点，机器动力学必须表现出特定的结构特性（共振频率、结构阻尼等），这些特性不仅取决于机器设计，还取决于机器的边界条件。
这些特性可以通过专门的专业设置获得，如加速度计、传感器、调节装置和动态信号分析仪。
然而，它们在无尘室环境中的使用可能是笨拙的（传感器安装、布线等）。
在最近的一次任务中，Micromega Recovib.Feel® USB 记录器和相关的振动分析应用程序被用来表征机器的动态。
该传感器配有磁铁，可轻松安装在机器上，并连接到智能手机或PC上。
改善半导体检查机沉降时间
半导体检测设备配备了高端隔离平台，防止地面振动降低成像性能。
然而，扫描机构会激发机器的局部共振。必须对这些共振进行阻尼，既能提高振动水平，又能减少沉降时间，从而提高机器检测速度。
采用主动阻尼装置来增加机器的结构阻尼( 高达15%)，显著提高了机器的性能。
半导体检查机性能测量
Micromega Recovib.Feel® USB 振动记录仪和操作人员智能手机由于使用方便，在无尘室等特殊环境中可以起到很大的作用。
事实上，半导体行业的检测机器在被要求以更快的速度提高生产率的同时，对精度的要求也越来越严格。
考虑到这一点，机器动力学必须表现出特定的结构特性（共振频率、结构阻尼等），这些特性不仅取决于机器设计，还取决于机器的边界条件。
这些特性可以通过专门的专业设置获得，如加速度计、传感器、调节装置和动态信号分析仪。
然而，它们在无尘室环境中的使用可能是笨拙的（传感器安装、布线等）。
在最近的一次任务中，Micromega Recovib.Feel® USB 记录器和相关的振动分析应用程序被用来表征机器的动态。
该传感器配有磁铁，可轻松安装在机器上，并连接到智能手机或PC上。
改善半导体检查机沉降时间
半导体检测设备配备了高端隔离平台，防止地面振动降低成像性能。
然而，扫描机构会激发机器的局部共振。必须对这些共振进行阻尼，既能提高振动水平，又能减少沉降时间，从而提高机器检测速度。
采用主动阻尼装置来增加机器的结构阻尼( 高达15%)，显著提高了机器的性能。
