EXOSEM 外部原位台
为了保护和维护 SEM 腔内的最低污染水平,NewTec 开发了一种 ExSitu腔室,能够在 360° 可视范围内进行样品的热或热机械测试,即使在温度应力下也能处理不可预测的行为。
EXOSEM 特点:
► 台面尺寸: Ø 220mm x 150mm
► 台面尺寸: Ø 220mm x 150mm
► 从大气压(空气或惰性气体)至高真空
► 受控初级真空系统,支持气体注入(可选)
► 次级真空可达1x10-6 mbar
► 模块化顶法兰
► 用于运输的 PC 支架、初级泵支架和涡轮支架
► 可选的 X、Y、Z 移动方向
► 带铰链和对中开口(可选)
► 不锈钢移动推车,带可折叠键盘支架
► 带主电源臂的屏幕支架
► 手动或可控阀门(可选)
► 可选的摄像机支架和高温计支架