ARIS-MD 模块式主动隔振器
轻巧紧凑的模块式主动隔振系统，可抵消敏感设备的有害振动。简化的设计使其可以无缝地成为工作站环境的一部分，其直接的组成无需后续调整。
应用领域：
➤ 电子显微镜（SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam）
➤ 半导体测试设备（光刻机、晶圆测试仪、电子束曝光机、CD_SEM）
➤ 扫描隧道显微镜/STM、扫描探针显微镜SPM、大型原子力显微镜/AFM
➤ X-Ray、CT、MPI
……
➤ 一个系统中无限数量的隔离器
➤ 6 自由度
➤ 负载：每个隔离器 100 - 1000 Kg
➤ 薄型尺寸：270 x 230 x 75 mm
➤ 可用的大负载 - 无限制
➤ 能够支持大型机器，工具和系统
➤ 特定应用的设计/产品/功能，以满足您的需求
➤ 强大的诊断工具
➤ 实时 2 通道示波器
➤ 实时 2 通道频谱分析仪
➤ 远程控制
应用场景精密仪器， 扫描电子显微镜(SEM)， 透射显微镜(TEM)，原子力显微镜（AFM）， 光刻机。
| 型 号 | ARIS MD 300 | ARIS MD 500 | ARIS MD 1000 | ARIS MD Pro 300 | ARIS MD Pro 500 |
| 尺寸（宽x深x高）mm | 270x230x75 | 270x230x75 | 370x230x75 | 230x230x75 | 230x230x75 |
| 承 重（kg） | 每个隔离器100-300（模块）模块数量不受限制 | 每个隔离器200-500（模块）模块数量不受限制 | 每个隔离器500-1000（模块）模块数量不受限制 | 每个隔离器100-300（模块）模块数量不受限制 | 每个隔离器200-500（模块）模块数量不受限制 |
| 执行器力 | 垂直 80 N，水平 40 N | ||||
| 主动隔振频率 | 0.5-100 Hz | ||||
| 自由度 | 6 自由度 | ||||
| 隔振性能 | 1 Hz 时为-8 db，2 Hz 时为-20 db | ||||
| 稳定时间 | <0.1 秒 | ||||
| 设 备 | 所有类型 | ||||
| 实时诊断工具 | 内置实时 2 通道示波器，实时 2 通道频谱分析仪 | ||||
产品图库
