ARIS-TT 桌面式主动隔振器

ARIS-TT 桌面式主动隔振器
轻巧紧凑的台式主动隔振系统,可抵消敏感设备的有害振动。简化的设计使其可以无缝地成为工作站环境的一部分,其直接的组成无需后续调整。


应用领域:
➤ 原子力显微镜/AFM
➤ 高分辨率光学显微镜
➤ 轮廓仪、干涉仪
➤ 真空腔
➤ 光学系统

 
性  能:

➤ 6 自由度
➤ 有效隔振频率从 0.5Hz 开始
➤ 解耦结构(专利申请中)
➤ 可变阻尼(专利申请中)
➤ 内置人工智能特性
  - 体积小、重量轻、设计简洁
  - 不使用任何压电元件
➤ K&S 系统使用的传感器和马达的寿命几乎是无限的
➤ 显著降低使用寿命成本

➤ 易于安装重型设备--无需起重工具和重型结构
➤ 高的有效行程
➤ 可通过软件调节有效带宽
➤ 远程控制
  - 内置实时诊断工具
➤ 频谱分析仪
➤ 示波器
  - 高度可调的振动隔离控制--系统可配置为任何复杂的环境条件
  - 内部灵活的架构可实现用户定制


 


ARIS-TT 桌面式主动隔振器(图1)

 

ARIS-TT 桌面式主动隔振器(图2)



型      号 ArisTT20 ArisTT75I ArisTT75 ArisTT75X ArisTT100 ArisTT150 ArisTT180 ArisTT200
尺寸(W×D×H)
(mm)
450×300×80 300×450×65 300×450×80 400×500×80 400×500×80 400×500×80 500×600×80 600×800×80
负载重量
(kg)
5 - 20 15 - 75 15 - 75 15 - 75 40 - 100 70 - 150 80 - 180 90 - 200
执行器力量 垂直:50N;水平:25N
主动隔振频率
(Hz)
0.5 – 100Hz
构      架 MVIS – 多层振动隔离结构
自由度 4 自由度 6 自由度
隔振性能 1Hz 时为 -8db
2Hz 时为 -20db
稳定时间 ≤ 0.1 秒
实时诊断工具 内置实时 2 通道示波器,实时 2 通道频谱分析仪
实时性能调整 实时控制所有 6 个自由度/远程访问
输入电源 AC 80-260V/50-60Hz


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